MEMS慣性感測元件不僅能獨立應用在硬碟保護(HDD Protection)、光學防手震(Optical Image Stabilization；OIS)裝置，透過動作感知(Motion Sensing)功能，得以透過手勢識別(Gesture Recognition)介面控制行動裝置，並為遊戲控制器(Game Controller)、智慧遙控器(Remote Control)、3D滑鼠等，提供更直觀的操控介面。
結合利用地球磁場(Magnetic Field)原理量測地磁方位的MEMS磁力計(Magnetometer)，與利用大氣壓力(Atmospheric Pressure)量測的MEMS壓力計(Barometer)，則能將相關應用延展至電子羅盤(Electronic Compass；E-Compass)與慣性導航系統(Inertial Navigation System；INS)。
本會專題研究指出陀螺儀應用上的創新，成為推動MEMS慣性感測元件市場的最大動能，整體規模可望由2008年17.3億美元成長87%至2012年32.2億美元，其中以通訊用與消費性應用的成長力道最為強勁。
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